Fachgebiet Mikro- und Feingeräte
Das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte der Technischen Universität Berlin orientiert sich in Lehre und Forschung an dem Entwurf, der Konstruktion und der Fertigung von Produkten aus der Feinwerk- und Mikrotechnik mit Detailabmessungen bis in den Submikrometerbereich.
Ein derzeitiger Forschungsschwerpunkt liegt in der Entwicklung von Komponenten und Systemen der Mikrofluidik, beispielsweise mikrofluidische Analysesysteme in Kombination mit Aktor- und Sensorsystemen.