Übungen zu den Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Parallel zur Vorlesung wird zur Vertiefung der Problematik eine experimentelle Übung zu den Fertigungsverfahren der Feinwerk- und Mikrotechnik angeboten. Thematisch ist die Übung an die Vorlesung angepasst:

• Reinraumtechnik
• Photolithographie
• Dünnschichttechnik
• Galvanik
• Ätztechnik

Das Praktikum findet in 3 Blöcken je Semester in Kleingruppen (max. 5 Studierende) statt. Die Anmeldung sowie die Bekanntgabe der Termine erfolgen in der ersten Vorlesungsstunde "Fertigungsverfahren der Feinwerk- und Mikrotechnik". Die Veranstaltung wird im Helmholtz-Zentrum Berlin-Adlershof im Labor an den entsprechenden Maschinen durchgeführt.