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TU Berlin

Inhalt des Dokuments

Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Modul (6LP) - Turnus Wintersemester. Schwerpunkte dieser Veranstaltung sind:

Reinraumtechnik, Vakuumtechnik, Dünnschichttechnologie, Aufdampfprozesse, Sputterprozesse, CVD-Prozesse, Nass- und Trockenätztechniken, Galvanische Abscheidung, Photolithographie, Elektronenstrahl- und Röntgenlithographie, Resistmaterialien, Si-Oberflächenmikromechanik, Si-Volumenmikromechanik, Konstruktionsregeln, Mikromontage.

Die Themen werden innerhalb der Vorlesung umfassend mit Anwendungs- und Produktbeispielen behandelt. Zur praktischen Vertiefung der Vorlesung wird eine begleitende Übung angeboten.

Vorlesungstermine

In deutscher Sprache:
Donnerstags, 08:00 - 10:00 Uhr, 17.10.2019 - 13.02.2020
Raum PTZ 002

In englischer Sprache:
Mittwochs, 12:00 - 14:00 Uhr, 16.10.2019 - 12.02.2020
Raum PTZ 002

Dozenten

Donnerstags:
Dr.-Ing. Stefan Kühne
Tel.: +49 30 314 - 29495
Raum PTZ 102

Mittwochs:
Prof. Dr.-Ing. Dirk Oberschmidt
Tel.: +49 30 314 - 22006
Raum PTZ 104

Assistent:
Markus Malcher, M.Sc.
Tel.: +49 30 314 - 21236
Raum PTZ 101

Zusatzinformationen / Extras

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