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TU Berlin

Inhalt des Dokuments

Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Modul (6LP) - Turnus Wintersemester. Schwerpunkte dieser Veranstaltung sind:

Reinraumtechnik, Vakuumtechnik, Dünnschichttechnologie, Aufdampfprozesse, Sputterprozesse, CVD-Prozesse, Nass- und Trockenätztechniken, Galvanische Abscheidung, Photolithographie, Elektronenstrahl- und Röntgenlithographie, Resistmaterialien, Si-Oberflächenmikromechanik, Si-Volumenmikromechanik, Konstruktionsregeln, Mikromontage.

Die Themen werden innerhalb der Vorlesung umfassend mit Anwendungs- und Produktbeispielen behandelt. Zur praktischen Vertiefung der Vorlesung wird eine begleitende Übung angeboten.

Vorlesungstermine

VL-Termine:

In deutscher Sprache:

Donnerstags, 08:00 - 10:00 Uhr, 18.10.2018 - 14.02.2019
Raum PTZ 002

 

In englischer Sprache:

Mittwochs, 12:00 - 14:00 Uhr, 17.10.2018 - 13.02.2019
Raum PTZ 002

Zusatzinformationen / Extras

Direktzugang

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Dozent (donnerstags)
Dr.-Ing. Stefan Kühne
Tel.: +49 30 314 - 29495
Raum PTZ 102
Dozent (mittwochs)
Prof. Dr.-Ing. Dirk Oberschmidt
Tel.: +49 30 314 - 27889
Raum PTZ 103
Vorlesungsassistent FMT
Markus Malcher, M.Sc.
Tel.: +49 30 314 - 21236
Raum PTZ 101