TU Berlin

Chair of Micro and Precision DevicesPromotion

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Dr.-Ing. Stefan Kühne

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Thema
Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter
Gutachter/Referees: Prof. Dr. h. c. Dr.-Ing. Eckart Uhlmann (TU-Berlin),
Prof. Dr.-Ing. habil. Prof. h. c. Dr.-Ing. E. h. Ekkard Brinksmeier (IWT)

Wissenschaftliche Aussprache/Scientific Defense: 07.09.2017

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