Der Fokus des Fachgebietes Mikro- und Feingeräte liegt auf der Entwicklung und Realisierung mikrooptischer, -mechanischer, -fluidischer und -elektrischer Teil- und Komplettsysteme. Hierbei umfasst unsere Forschung die Entwicklung von Produkten, Produktionsprozessen und Funktionswerkstoffen.

In der Lehre steht das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte für die fundierte, praxisorientierte Ausbildung Studierender in den Bereichen der Mikro- und Nanotechnik.

• Verfahren und Materialien der Mikro- und Nanotechnologie
  Zeit: Mittwoch, 12:00 - 14:00 Uhr
  Ort: isis.tu-berlin.de/course/view.php

• Funktionseinheiten der Mikrotechnik II
  Zeit: Mittwoch, 10:00 - 12:00 Uhr
  Ort: isis.tu-berlin.de/course/view.php

• Mikromontage
  Zeit: Donnerstag, 10:00 - 12:00 Uhr
  Ort: isis.tu-berlin.de/course/view.php

• Grundlagen der Mikro- und Feingeräte
  Zeit: Donnerstag, 14:00 - 16:00 Uhr
  Ort: isis.tu-berlin.de/course/view.php

• Projekt Mikro- und Feingeräte (Bachelor)
  Zeit: SS2021
  Ort: isis.tu-berlin.de/course/view.php

• Projekt Mikro- und Feingeräte (Master)
  Zeit: SS2021
  Ort: isis.tu-berlin.de/course/view.php