Der Fokus des Fachgebietes Mikro- und Feingeräte liegt auf der Entwicklung und Realisierung mikrooptischer, -mechanischer, -fluidischer und -elektrischer Teil- und Komplettsysteme. Hierbei umfasst unsere Forschung die Entwicklung von Produkten, Produktionsprozessen und Funktionswerkstoffen.

In der Lehre steht das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte für die fundierte, praxisorientierte Ausbildung Studierender in den Bereichen der Mikro- und Nanotechnik.

• Fertigungsverfahren der Mikrotechnik
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• Funktionseinheiten der Mikrotechnik I
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• Grundlagen der Mikro- und Feingeräte
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• Mikromontage
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• Mikrooptische Systeme
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• Werkstoffe der Mikro- und Nanotechnik
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• Projekt Mikro- und Feingeräte (Bachelor)
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• Projekt Mikro- und Feingeräte (Master)
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