Der Fokus des Fachgebietes Mikro- und Feingeräte liegt auf der Entwicklung und Realisierung mikrooptischer, -mechanischer, -fluidischer und -elektrischer Teil- und Komplettsysteme. Hierbei umfasst unsere Forschung die Entwicklung von Produkten, Produktionsprozessen und Funktionswerkstoffen.

In der Lehre steht das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte für die fundierte, praxisorientierte Ausbildung Studierender in den Bereichen der Mikro- und Nanotechnik.