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| Achskonfiguration | X, Y, Z1, Z2, B, C | |
|---|---|---|
| Verfahrwege | X-Achse | 1100 mm |
| Y-Achse | 200 mm | |
| Z1-Achse | 170 mm | |
| Z2-Achse | 400 mm | |
| Systemgenauigkeit | X-, Y-, Z1-, Z2-Achse | 100 nm / 100 mm |
| B-Achse | 5“ | |
| C-Achse | 3“ | |
| Hydrostatische Lagersteifigkeit | 600 N/μm | |
| Verfahrgeschwindigkeit | 1 – 2000 mm/min | |
| Programmierauflösung | < 1 nm | |
| Drehzahlen | Frässpindel | 600 – 4000 min-1 |
| Mikrostrukturierspindel | 5 – 80.000 min-1 | |
| C-Achse | ≤ 100 min-1 | |
| Erreichbare Rauheit | Rq = 2 nm | |
| Eisenfreie Linearmotoren | ||
