TU Berlin

Fachgebiet Mikro- und FeingeräteMesstechnik

Inhalt des Dokuments

zur Navigation

Messtechnik

Multisensor-Koordinatenmesstechnik

Multisensor-Koordinatenmessmaschine "Werth VideoCheck HA 400""Werth VideoCheck 400 HA"
Verfahrwege
XY: 400 mm | Z: 200 mm
Objektive und Sensoren



Zoomobjektiv: 1x - 10x
Festobjektiv: 10x, 20x, 50x
Fasertaster: R > 12.5 µm | Tastkraft: > 1 µN
Messtaster: R > 0.15 mm | Tastkraft: > 30 mN
Eigenschaften
Luftgelagerte Führungen
Längenmessabweichungen < 0.5 µm

Oberflächen-Messtechnik

Rasterkraftmikroskop "Nanosurf NaniteAFM""NanoSurf Nanite"
Max. Scanbereich (XY)
110 µm
Max. Höhenbereich (Z)

22 µm
XY-Linearitätsfehler gemittelt

< 0.6 %
Z-Messungs-Rauschlevel (RMS, static mode)
typ. 350pm (max. 500 pm)
Z-Messungs-Rauschlevel (RMS, dynamic mode)
typ. 90 pm (max. 150 pm)
Besonderheiten





Scan Stage (XY 100 mm)
Abnehmbarer Messkopf mit 3-Punkt Schnellbefestigung, universell anbringbar an unterschiedlichen Stage-Bauformen
Automatische selbstausrichtung von Cantilevers über Ausrichtungsrillen
4.5 mm automatischer Annäherungsbereich
Probenbeobachtung während der Messung
Probenbeleuchtung mittels Weiß-LED

Navigation

Direktzugang

Schnellnavigation zur Seite über Nummerneingabe