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Standort TU-Campus
Das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte bewohnt Räume im Eugene-Paul-Wigner-Bau (EW) im 1. Stock des Gebäudes.
Rechnerplätze für Studenten des Fachgebiets befinden sich im Raum EW153a.
Standort Adlershof (HZB)
In Berlin-Adlershof nutzt das Fachgebiet die Räumlichkeiten des Helmholtz-Zentrums Berlin. Dazu gehören ein ca. 800 m² Reinraum und 800 m² Laborbereich. Dort steht auch die Ultrapräzisionsmaschine des Fachgebiets.
Das HZB befindet sich in der Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin "Adlershof".