Übungen zu den Werkstoffen der Mikro- und Nanotechnik

Im Fokus der Veranstaltung liegen Materialien, die aufgrund ihrer physikalischen Eigenschaften vorrangig in mikromechanischen und/oder mikrooptischen systemen eingesetzt werden. Im Rahmen der Übung werden die in der Vorlesung besprochenen Inhalte anhand von Versuchen durch die Studierenden im Labor des Fachgebietes praktisch vertieft.