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TU Berlin

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Übungen zu den Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Parallel zur Vorlesung wird zur Vertiefung der Problematik eine experimentelle Übung zu den Fertigungsverfahren der Feinwerk- und Mikrotechnik angeboten. Thematisch ist die Übung an die Vorlesung angepasst:

  • Reinraumtechnik
  • Photolithographie
  • Dünnschichttechnik
  • Galvanik
  • Ätztechnik

Das Praktikum findet in 3 Blöcken je Semester in Kleingruppen (max. 5 Studierende) statt. Die Anmeldung sowie die Bekanntgabe der Termine erfolgen in der ersten Vorlesungsstunde "Fertigungsverfahren der Feinwerk- und Mikrotechnik". Die Veranstaltung wird im Helmholtz-Zentrum Berlin-Adlershof im Labor an den entsprechenden Maschinen durchgeführt.

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