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TU Berlin

Inhalt des Dokuments

Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Modul (6LP) - Turnus Wintersemester. Schwerpunkte dieser Veranstaltung sind:

Reinraumtechnik, Vakuumtechnik, Dünnschichttechnologie, Aufdampfprozesse, Sputterprozesse, CVD-Prozesse, Nass- und Trockenätztechniken, Galvanische Abscheidung, Photolithographie, Elektronenstrahl- und Röntgenlithographie, Resistmaterialien, Si-Oberflächenmikromechanik, Si-Volumenmikromechanik, Konstruktionsregeln, Mikromontage.

Die Themen werden innerhalb der Vorlesung umfassend mit Anwendungs- und Produktbeispielen behandelt. Zur praktischen Vertiefung der Vorlesung wird eine begleitende Übung angeboten.

Zusatzinformationen / Extras

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Dozent
Dipl.-Ing. Stefan Kühne
Tel.: +49 30 314 - 29495
Raum PTZ 102
Vorlesungsassistent FMT
M.Sc. Markus Malcher
Tel.: +49 30 314 - 21236
Raum PTZ 101