Fertigungsverfahren der Mikrotechnik

Modul (6LP) - Turnus Wintersemester. Schwerpunkte dieser Veranstaltung sind:

Reinraumtechnik, Vakuumtechnik, Dünnschichttechnologie, Aufdampfprozesse, Sputterprozesse, CVD-Prozesse, Nass- und Trockenätztechniken, Galvanische Abscheidung, Photolithographie, Elektronenstrahl- und Röntgenlithographie, Resistmaterialien, Si-Oberflächenmikromechanik, Si-Volumenmikromechanik, Konstruktionsregeln, Mikromontage.

Die Themen werden innerhalb der Vorlesung umfassend mit Anwendungs- und Produktbeispielen behandelt. Zur praktischen Vertiefung der Vorlesung wird eine begleitende Übung angeboten.