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TU Berlin

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Industrielle Forschung zu Herstellungstechnologien von replizierten stark gekrümmten Beugungsoptiken mit Nanostrukturen

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Problemstellung

Spektrometer bestehen aus mindestens einem planen dispergierenden Element und weiteren abbildenden Elementen zur Strahlformung, die präzise zueinander ausgerichtet werden müssen. Der Nachteil derartiger Systeme liegt darin, dass an jeder Grenzfläche der verwendeten Elemente Intensitätsverluste durch Reflexion, Absorption und Streuung auftreten und der Justageaufwand sowie der nötige Bauraum mit der Anzahl der Bauteile wächst. Durch Hybridoptiken lassen sich die verschiedenen Funktionalitäten in einer Optik vereinen, um diese Nachteile zu kompensieren. Das Resultat ist eine deutlich vereinfachte Systemmontage, eine höhere Effizienz und zusätzliche Freiheitgrade im optischen Design. Der Nachteil dieser optischen Elemente ist der Preis, welcher in der aufwendigen Herstellung begründet ist.

Ziel

Ziel des Projektes ist daher die Erforschung einer kostengünstigen Gesamttechnologie zur Replikation von Masterstrukturenfür stark gekrümmte Beugungsoptiken mit Nanostrukturenzur Verwendung in Spektrometern,welche auf einen weiten Spektralbereich vom IR bis in den Röntgenbereich anwendbar ist. Vor diesem Hintergrund werden verschiedene Technologien zur Herstellung von Präformen und zur Replikation der Nanostrukturen auf gekrümmten Oberflächen untersucht. Zur hochgenauen Ausrichtung der Formnester sowie zur reproduzierbaren, zerstörungsfreien Entformung muss ein Replikationsplatz aufgebaut werden.

Das Wissensspektrum der drei Projektpartner Nano Optics Berlin GmbH, micro resist technology GmbH und der Technischen Universität Berlin deckt die Wege ab zur Herstellung der Masterstrukturen, zum Aufbau der Präformen, dem Aufbau eines Replikationsplatzes, dem lithografischen Replikationsprozess, den Weg zur Entformung inklusive der Entwicklung geeigneter Trennschichttechnologien bis hin zur messtechnischen Bewertung der Replikate.

Aus diesem Wissensspektrum erwachsen die Wege für die Lösung der Hauptaufgabe dieses Projektes: Die hochpräzise Replikation vor nanoskaligen Strukturen auf gebogenen Substratoberflächen

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Dieses Projekt wurde kofinanziert durch den Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE)

 

 

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Ansprechpartner

Daniel Rolón
+49 30 314-23553
PTZ
Raum 102