Max. Höhenbereich (Z)
| 22 µm
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XY-Linearitätsfehler gemittelt
| < 0.6 %
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Z-Messungs-Rauschlevel (RMS, static mode)
| typ. 350pm (max. 500 pm)
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Z-Messungs-Rauschlevel (RMS, dynamic mode)
| typ. 90 pm (max. 150 pm)
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Besonderheiten
| Scan Stage (XY 100 mm)
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Abnehmbarer Messkopf mit 3-Punkt Schnellbefestigung, universell anbringbar an unterschiedlichen Stage-Bauformen
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Automatische selbstausrichtung von Cantilevers über Ausrichtungsrillen
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4.5 mm automatischer Annäherungsbereich
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Probenbeobachtung während der Messung
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Probenbeleuchtung mittels Weiß-LED
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