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TU Berlin

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Fotolithographie

Das Fachgebiet Mikro- und Feingeräte ist in der Lage, fotolithographisch Strukturen zu erzeugen. Hierfür steht ein Mask Aligner Karl Süss MA 56 zur verfügung.

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Markus Malcher
+49 30 314-21236
PTZ
Raum 101